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產(chǎn)品名稱：Michell Pura
產(chǎn)品型號：Pura
產(chǎn)品展商：MICHELL
產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔

簡單介紹

Michell Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的頭個適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。 Michell Pura下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)

產(chǎn)品描述

Michell Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的頭個適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。
Michell Pura下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)

亮點

測量下限 -120°C 露點 (1 ppb_V)

測量穩(wěn)定，重復性好

高度集成的采樣裝置

模擬和數(shù)字輸出

安裝簡便

VCR 過程接口

設(shè)計緊湊小巧

顯示/報警單元可選

技術(shù)指標

傳感器
傳感器類型	密析爾陶瓷濕度傳感器
量程	-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度	±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率	0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力	低 10-9 torr; 大 24 MPa
氣體流量	1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源	通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , *大電流 25 mA
輸出	4-20 mA 輸出, 對應范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標配提供) *大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態(tài)	標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機械性能
傳感器套筒	不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內(nèi)拋光
氣路連接端口	Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
安裝配置	Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm Michell Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中
尺寸	Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量	Premium 或 OEM 型: 450g Michell Pura Sensor 型: 180g
包裝	Michell Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝所有選配件: 獨立包裝運輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作

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