新型的 Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器 是密析爾儀表針對(duì)晶圓工業(yè)對(duì)于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的*新需求變化而特殊設(shè)計(jì)的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動(dòng)變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)*末端，用來監(jiān)測(cè)超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測(cè)點(diǎn)后，會(huì)由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、元件故障或過程出錯(cuò)等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級(jí)別下 1 ppb 的異動(dòng)的響應(yīng)時(shí)間小于1 分鐘。

Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器亮點(diǎn)

• 對(duì) ppb 級(jí)別濕度異動(dòng)的快速響應(yīng)
• 低濕 ppb 級(jí)別的靈敏度 (<1 ppb)
• 多點(diǎn)測(cè)量安裝的全新概念
• 維護(hù)要求低
• 信號(hào)燈式的狀態(tài)指示
• 可設(shè)置警告和報(bào)警點(diǎn)
• Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容
• 遠(yuǎn)程控制界面的多通道軟件
• (UHP) 超純氣體的管線檢測(cè)

Pura Plus在線微量濕度異動(dòng)變送器

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