名          稱

參        數(shù)

工

作

臺(tái)

金屬臺(tái)面尺寸(MM)

450 ×320

方形玻璃臺(tái)面尺寸:(MM)

320X220

X坐標(biāo)行程:(MM)

300

Y坐標(biāo)行程：(MM)

200

儀器外形尺寸(長)Х(寬)Х(高) MM：

480Х 650 Х1000

儀器重量（KG）：

200

Z坐標(biāo)升降行程:(MM)：170(調(diào)焦)   工作距離（MM）：95

X/Y/Z數(shù)顯分辨率：0.0005MM (0.5UM)   X、Y坐標(biāo)示值誤差：≤（3+L/200）ΜM

影

像

系

統(tǒng)

攝影機(jī)：彩色1/3″CCD攝影機(jī)(日本索尼芯片540線高分辨率工業(yè)攝像機(jī)）

變焦物鏡倍率：0.7～4.5X（定格變倍，無需每次校準(zhǔn)）

視頻總倍率：30X～230X

物方視場：7～1.1MM

傳動(dòng)型式：X、Y、Z軸均采用馬達(dá)驅(qū)動(dòng)滾珠絲桿傳動(dòng)的型式

計(jì)算機(jī)自動(dòng)采樣，端口輸出，專業(yè)軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)分析處理

X、Y軸馬達(dá)運(yùn)動(dòng)速度＜120MM/S   Z軸馬達(dá)運(yùn)動(dòng)速度＜60 MM/S

馬達(dá)運(yùn)動(dòng)步長0.4 MM/步         馬達(dá)分辨率1000步/轉(zhuǎn)

照  明

程控可調(diào)LED表面光和底光(使用全**電壓)

伺服電機(jī)

日本原裝進(jìn)口

電  源

180V（AC）～260V（AC）50HZ

測量軟件

VMS測量軟件，可測線、角、圓，隨圓、圓心距、角度、高度、平面距、空間距、平整度、球，自動(dòng)逆向掃描等，自動(dòng)輸出WORD/EXEL/CAD！